SZÓFIA EGYETEM

Szemináriumok

diszkrét eszközök

Gyakorlati gyakorlatok

A tantárgy megismeri a mikroelektronikában alkalmazott mikroelektronikai eszközök, például diszkrét eszközök és integrált áramkörök kialakításához használt technológiai folyamatok és anyagok alapismereteit. .

A tanfolyam előadásokból és gyakorlatokból áll, összesen 4 5 órás ütemezéssel (30 óra előadás és 15 óra gyakorlat). Az előadás anyaga feltételesen két részből áll:

I. rész: Anyagtechnológiák a mikroelektronikához .

II. Rész: Integrált áramkörök és diszkrét eszközök gyártásához használt technológiai folyamatok.

B. TANTERV TARTALMA:

Előadások (vagy gyakorlatok)

Téma, a lecke típusa:

A mikroelektronikai eszközök gyártásának alapelvei. A síktechnika jellemzői és folyamatai. Az integrált áramkörök gyártásának fő technológiai szakaszai és technológiai ciklusa. Az alapvető félvezető elemek felépítése.

Anyagok kristályosodása: termodinamikai viszonyok, transzferjelenségek, kristálymagok képződése, a kristálynövekedés mechanizmusai. Az egyes kristályok növekedése olvadékból. Bridgman, Czochralski módszerek, zónaolvadás az egykristályos növekedés érdekében. A szennyeződések megoszlása ​​egykristályokban.

A vékony rétegek termesztésének technológiái Gázfázisú kristályosítás (CVD). Molekuláris sugár és katódos porlasztási módszerek rétegrétegezéshez. Kémiai reakciókat tartalmazó rétegnövekedési módszerek.